Pomeas光谱共焦传感器,是一款“点”式高分辨率超高精度的非接触式传感器。基于共焦原理,与传统测量手段相比,具有精度高,体积小,高灵敏等有点,可以很好的解决小工件内壁沟槽和透明材料的测量问题。广泛运用于各种高精密测量场合,包含:半导体,玻璃、汽车、制表业、航空…等。可以轻松测量几乎所有物体,如晶元、玻璃、塑料、织物等;而且对被测物表面反光和颜色没有特殊要求,即不论镜面高光面还是粗糙的漫反射面。
1、优势
● 距离和厚度模式
● 高精度0.2um和高分辨率(最大2000Hz)
● 兼容所有多系列光学笔
● 与3个外部光栅数字编码器同步
● 输出接口,USB和RS232
● 高级功能:自动调整LED亮度,第一高峰,多频测量,时间平均...
● 严格CLK主或从同步,实现级联
● 自带Z轴控制脉冲,实现实时对焦应用
● 对焦检测光斑小,”直线式”测量,可对槽、孔、坑等精准测量;
2 应用特征
● 稳定量测各类材质,例如金属/陶瓷/镜面/玻璃等;
● 适用于各种工件形貌(包含深孔/斜面/弧面)之特征尺寸量测,例如高度/段差/厚度/平面度/轮廓度等;
● 高温高压等严苛操作条件下亦能正常使用;
● 测头结构轻巧,易整合于各行业之自动化测量应用。
3 典型案例
普密斯推出了点光谱共焦传感器搭载APO物镜,巧妙的设计使得光谱共焦模块测量与主成像光路共光轴共焦点,可以实现快速跟随自动对焦以及段差测量的功能。物镜可以选用独立接口,也可以选用6孔鼻轮模组连接。