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3D线光谱共聚焦传感器

全光谱波段测量范围,支持多层透明材质
最大速度可达 5000 线 / 秒,提升测量效率
最高达到 50nm 的 Z 轴重复性,精度性能进一步提高
支持标准软件、定制开发和开放通讯协议,使用更灵活
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