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荧光片 AOI设备
缺陷检测:异物、气孔、凹陷破损、颜色、白点、切割缺陷、崩边、污渍、裂缝。
设备特点:1、自动上下料,一次叠放扩晶环240-300片,满足6-8小时内的连续检测;

2、兼容4吋到7吋的扩晶环,所检验晶粒可细到10微米;

3、检测速度:15000颗晶粒的7吋扩晶环,每小时可检12个;

4、喷墨标记,不良的晶粒可即检即标,NG点喷码标记速度大于10k/UPH;

5、不良品的MAP图可自动生成,便于后面寻址。
视频详情:
https://mp.weixin.qq.com/s__biz=MzU1NjM2MjUyMQ==&mid=2247493864&idx=1&sn=29d7610c923659c2b0bc9f3e5fd264c5&chksm=fbc4969eccb31f889291bf4e110f8ac0fda09748c82ffbf8f8cf1ec1fba34ae5058a2e3b90a6&token=707360681&lang=zh_CN#rd
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